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大型等离子清洗机
大型等离子清洗机
V1000/1000X1000XS
大型等离子清洗机特点：
能有针对性的制作一些特殊电极 ，提高生产效率 。
高可靠性RF电源，高精度调谐装置。
大型等离子清洗机用途:
硅晶圆的灰化及蚀刻IC封装、BGA/CSP基板处理电子半导体零部件和电子材料的干式清洗物体表面氧化物和有机物的除去镀膜 、烤漆前的清洗，增强膜层的附着力
能有针对性的制作一些特殊电极 ，提高生产效率 。
高可靠性RF电源，高精度调谐装置。
大型等离子清洗机用途:
硅晶圆的灰化及蚀刻IC封装、BGA/CSP基板处理电子半导体零部件和电子材料的干式清洗物体表面氧化物和有机物的除去镀膜 、烤漆前的清洗，增强膜层的附着力
大型等离子清洗机规格：
| 型号 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等离子模式 | DP/RIE | DP/RIE | |
| 振动频率 | 13.56MHz | ||
| 反应气体 | 聚合控制器2系统（充填气路另行安装） | ||
| 安全装置 | 门开关 、侧板互锁机构、紧急停止开关 | ||
| 输出功率 | 1000W | 1000W | 1500W |
| 有效尺寸(W×D) | 280×280mm | 300×300mm | 400×375mm |
| 油回旋真空泵 | 670&1000L/min | 670&1500L/min | 1000&1500L/min |
