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等离子灰化机
等离子灰化机
PDC200/210/510
等离子清洗机特点：
RIE模式标配(DP切换为选购)等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面。
等离子清洗机用途：
CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理
| 型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
| 模式 | RIE模式（DP选配） | DP/RIE切换方式 | |
| 电极制造 | 平行平板电极（固定） | ||
| 频率 | 13.56MHz | ||
| 控制方式 | 自动联动液晶触摸屏控制 | ||
| 反应室材质 | 铝 | ||
| 反应气体 | 2系统(Ar/02) | ||
| 充填气体 | N2/洁净干燥空气 | ||
| 反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | 聚合控制器 |
| 真空泵 | 另行选配 | 油回旋真空泵（排气量345L/min） | 油回旋真空泵（排气量500L/min） |
| 气体导入口 | 反应气体2套 、填充气体1套 | ||
| 高频输出功率 | Max.300W | Max.500W | Max.500W |
| 温度设定方式 | 用上下键进行数码设定 | ||
| 反应室尺寸（mm） | 400×250×150 | 400×250×150 | 500×300×200 |
| 电极尺寸（mm） | 250×170 | 250×170 | 400×200 |
| 外形尺寸（mm） | 540×600×600 | 540×600×600 | 700×700×700 |
| 电源(50/60Hz) | 单相AC100V 15A | 3相AC200V 15A | 3相AC200V 15A |
